深耕西南半导体配套赛道 成都莫瑞环保新增晶圆抛光液 DI 超纯水成套设备业务
净心
2026-07-31
近日，成都莫瑞水处理设备有限公司正式推出晶圆 CMP 抛光液专用 DI 去离子超纯水系统全链条工程服务，立足成都，辐射重庆、四川、云贵等西南全域，补齐区域半导体材料本地化水处理配套短板，为西南抛光液生产、半导体材料制造企业提供设备定制、管路施工、调试运维一体化解决方案。
当前成渝半导体产业集群加速扩容，彭州、重庆等地半导体材料产业园持续落地大批抛光液、电子化学品项目，CMP 抛光液调配、稀释工序对超纯水指标要求严苛，18.25MΩ・cm 高纯 DI 水直接决定抛光液品质与晶圆加工良率。此前西南高端半导体水处理设备多依赖外地厂商，存在交付周期长、售后响应滞后等痛点，本地专业服务商缺口明显。
依托成熟电子级水处理核心工艺，莫瑞环保本次新增业务覆盖抛光液产线全套超纯水设备，采用双级 RO+EDI + 核级抛光混床终端过滤工艺，严控 TOC、氯离子、颗粒物、微生物析出，完全匹配 SEMI 电子级用水标准。针对抛光液车间高纯输水需求，团队可承接 PFA、PVDF 洁净 DI 水管路总包施工，规避管路死水、离子溶出等水质风险，拥有多套半导体抛光液纯水项目落地经验。
公司技术团队均具备多年半导体超纯水项目从业背景，依托成都本地驻点优势，可快速上门勘测厂房工况，根据企业产能规模定制模块化纯水站，同步提供老旧水处理系统升级、无尘车间标准化安装、水质持续监测等配套服务，大幅缩短项目落地周期，降低企业跨区域设备运维成本。
据企业负责人介绍，莫瑞环保将持续深耕西南半导体配套市场，以本地化快速服务 + 成熟稳定超纯水工艺为核心优势，持续优化抛光液专用 DI 水系统能耗与运维成本，助力西南半导体抛光液产业链国产化、本地化发展，为成渝集成电路产业高质量发展筑牢超纯水配套支撑。
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